半导体 FOUP / FOSB 载具清洗药剂怎么选型？
选型先看载具材质（PC ESD / CBM ESD / PEI ESD，耐温与耐碱不同），再看污染物（颗粒 / 有机物 / 离子 / 光刻胶残留）。晶澈 SP-Clear 系列按此分档：预洗型、有机去除型、高温型、PFA 专用、光罩专用共 5 款。
1第一步：确认材质耐受
PC ESD 最娇贵：不耐高温碱，SP-Clear Organic 的工作液 pH 8.5–9.5 已是 PC ESD 安全上限，且 FOUP 材质耐受上限约 80 ℃，故 PreWash 用 50–65 ℃ 留有余量。PEI ESD 耐温可达 150 ℃，可用 HighTemp 档（pH 9.5–10.5、70–90 ℃）。PFA / PTFE / PVDF 几乎全耐化学，可用强碱高温（pH 12.8–13.2、70–100 ℃）。选错材质的档位会造成载具发雾、应力开裂。
2第二步：按污染物选功能
颗粒污染 → PreWash（中性 pH 6.5–7.5、1:4 稀释、50–65 ℃ 3–8 分钟、泡沫高度 <5 mm 喷淋安全、表面张力 <30 mN/m）。有机物与 VOC / 光刻胶释气残留 → Organic（微碱 pH 8.5–9.5、55–75 ℃ 5–10 分钟，经溶解度参数匹配验证 RED = 0.59）。离子残留主导（光罩盒 Haze 预防）→ Mask（中性、推荐 UPW 稀释、40–60 ℃，针对铵根/硫酸根离子）。
3第三步：按工序与设备确认
喷淋线必须选低泡（PreWash/ Organic 泡沫高度 <5 mm）；浸泡/超声/兆声可放宽。PFA 载具可用喷淋/浸泡/超声波三种方式（1:9 稀释、5–15 分钟）。供货按浓缩液交付（PreWash/Organic/HighTemp/Mask 为 5X 浓缩、PFA 为 10X），订货号形如 SCP-PW / SCP-OG / SCP-HT / SCP-PFA 系列。
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