技术描述
晶澈高温型（SP-Clear HighTemp）是圣普化学晶澈半导体清洗系列中专为 PEI ESD 材质高温 FOUP 设计的清洗剂，适用于 CK 313HT 等耐温 150℃ 的 PEI ESD 材质 FOUP。产品为微黄色透明浓缩液，按 1:4（浓缩液 : DI 水）稀释使用。
工作液 pH 9.5–10.5，比标准版高一档碱度以增强去污力；推荐工作温度 70–90℃，处于 PEI 材质 150℃ 耐温范围内运行安全，高温同时缩短反应时间，清洗时间为 5–10 分钟。
使用注意：本品为碱性高温配方，操作时须佩戴防护手套与护目镜，高温操作需注意防烫，含有机溶剂应保持通风。⚠️ 本品不适用于 PC ESD 材质——PC ESD 不耐高温碱液，误用可能造成载具损伤。包装为 5 / 25 / 200 KG 桶装（订货号 SCP-HT 系列），密封阴凉干燥处 5–35℃ 储存，原封保质期 12 个月。
产品简介
SP-Clear HighTemp 是晶澈半导体清洗系列的高温型产品，专为 PEI ESD 材质高温 FOUP 设计（材质耐温上限 150 ℃）。 产品在微碱有机去除体系基础上提高一档碱度（pH 9.5–10.5）并按 PEI 材质耐受性重新调配，配合 70–90 ℃ 高温运行，实现比标准版更强的去污力，适合高温制程回传载具上附着力更强的有机污染。
核心价值：用高温载具本身允许的更高温度与碱度，换取标准机型达不到的去污力。
对标 Entegris ACM 系列。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | PEI ESD 材质高温 FOUP（材质耐温上限 150 ℃） |
| 产品定位 | 高温制程 FOUP 专用清洗剂，去污力增强档 |
⚠ 不适用于 PC ESD 材质载具（不耐高温碱液）。
| 设备类型 | 适配性 |
|---|---|
| 离心喷淋式 FOUP 清洗机（带加热功能） | 须具备加热能力 |
| 对比项 | Organic（PC 版） | HighTemp（PEI 版） |
|---|---|---|
| 工作液 pH | 8.5 – 9.5 | 9.5 – 10.5 |
| 工作温度 | 55 – 75 ℃ | 70 – 90 ℃ |
| 适配载具材质 | PC ESD / CBM ESD | PEI ESD |
PEI ESD 高温载具主要服务于高温制程，在高温环境中长期循环后，附着物的固化程度与附着力通常高于常规载具，标准微碱体系难以彻底清除。本品把工作温度提升至 70–90 ℃、工作液 pH 提升一档至 9.5–10.5——这正是 PEI 相对 PC 多出的耐受空间，高温与更高碱度协同提高顽固残留去除效率。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 高温强化溶解 | 70–90 ℃ 显著提升溶解组分的渗透速率与残留溶解速度 |
| ② 高一档碱度协同 | 工作液 pH 9.5–10.5，在 PEI 材质耐受范围内提高碱度，加速有机薄膜溶胀剥离与残留分解 |
| ③ 高温低泡适配喷淋 | 泡沫低于 5 mm 且在高温下完成验证，喷淋设备中不溢泡、不残留泡沫 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 外观 | 微黄色透明液体（浓缩液） | — |
| 浓缩倍数 | 5X | — |
| 稀释比例 | 1 : 4（浓缩液 : DI 水） | 1 份浓缩液 + 4 份 DI 水 = 5 份工作液 |
| pH 值 | 9.5 – 10.5 | 比标准版高一档 |
| 工作温度 | 70 – 90 ℃ | PEI 耐温 150 ℃，运行安全 |
| 清洗时间 | 5 – 10 min | 高温缩短反应时间 |
| 泡沫高度 | < 5 mm | 高温条件下验证 |
| 保质期 | 12 个月（原封） | — |
使用说明
| 稀释比例 | 操作 | 所得工作液量 |
|---|---|---|
| 1 : 4（浓缩液 : DI 水） | 1 份浓缩液 + 4 份 DI 水，搅拌均匀 | 5 份工作液 |
稀释示例： 5 kg 浓缩液 + 20 kg DI 水 = 25 kg 工作液（1 桶浓缩液配 4 桶 DI 水）。
- 1预洗（DI 水，1–2 min）
- 2SP-Clear HighTemp 化学清洗（70–90 ℃，5–10 min）
- 3DI 水漂洗（2–4 次，UPW）
- 4N₂ 吹扫干燥
- ·清洗机须具备加热功能，并确认设备与管路可承受 90 ℃ 工作温度
- ·严格确认载具材质为 PEI ESD——本品 pH 9.5–10.5 且工作温度 70–90 ℃，禁止用于 PC ESD 载具
建议使用 DI 水 稀释；高温段注意防烫并保持通风，首次使用建议先小批量试产。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| 材质安全 | 仅适用于 PEI ESD 材质载具；不适用于 PC ESD 载具 |
| 高温操作 | 70–90 ℃ 高温，取放载具须用防护器具，注意防烫 |
| 通风要求 | 含有机溶剂组分，工作区域须保持通风 |
| 个人防护 | pH 9.5–10.5，碱性，须佩戴防护手套与护目镜 |
| 不慎入眼 | 立即用大量清水冲洗至少 15 分钟 |
| 废液处理 | 按当地环保法规处置 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 包装规格 | 桶装 5 kg / 25 kg / 200 kg |
| 订货号 | SCP-HT-05 / SCP-HT-25 / SCP-HT-200 |
| 储存条件 | 密封存放于阴凉干燥处，避免阳光直射 |
| 储存温度 | 5 – 35 ℃ |
| 保质期 | 12 个月（原封） |
产品优势
材质对口
专为 PEI ESD 高温载具（耐温 150 ℃）设计，工作温度用到 70–90 ℃
去污力增强
工作液 pH 9.5–10.5 比标准微碱版高一档，配合高温提升顽固残留去除效率
安全边界清晰
明确标注不适用于 PC ESD 载具，避免误用造成载具损伤
高温喷淋友好
泡沫低于 5 mm 且经高温验证，适配带加热功能的喷淋清洗机
附：晶澈（SP-Clear）系列对照
| 型号 | 名称 | 定位 |
|---|---|---|
| SP-Clear PreWash | 晶澈预洗型 | FOUP/FOSB 颗粒预清洗 |
| SP-Clear Organic | 晶澈有机去除型 | 有机残留去除（PC ESD） |
| SP-Clear HighTemp | 晶澈高温型 | PEI ESD 高温载具（本款） |
| SP-Clear PFA | 晶澈 PFA 专用 | PFA / PTFE 载具 |
| SP-Clear Mask | 晶澈光罩专用 | 光罩盒，防 Haze |
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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