技术描述
晶澈高温型 · FOUP 专用（SP-Clear HighTemp）是圣普化学面向PEI ESD 高温载具场景开发的载具/晶圆产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标依托 Entegris / ZESTRON 同类高温 FOUP 清洗剂，提供国产化替代方案。核心卖点：高温 FOUP（PEI）专用，耐 120°C+ 制程。
主要适用材质/对象：PEI ESD 高温载具。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
晶澈高温型 · FOUP 专用（SP-Clear HighTemp）是圣普化学面向PEI ESD 高温载具开发的载具/晶圆产品。产品核心优势：高温 FOUP（PEI）专用，耐 120°C+ 制程。技术上对标依托 Entegris / ZESTRON 同类高温 FOUP 清洗剂，提供国产化替代选择。产品特点：比标准版高一档），配合 70-90°C 高温运行实现高去污力，按 PEI ESD 材质耐受性设计（对应耐温 150°C 内的 PEI 高温 FOUP 系列，运行安全），不适用于 PC ESD 载具（不耐高温碱）。典型工艺：工作温度控制在 PEI 材质耐受上限内。
产品参数速览
对标竞品
依托 Entegris / ZESTRON 同类高温 FOUP 清洗剂
适用场景
PEI ESD 高温载具
适用材质
PEI ESD 高温载具
产品特点
比标准版高一档），配合 70-90°C 高温运行实现高去污力，按 PEI ESD 材质耐受性设计（对应耐温 150°C 内的 PEI 高温 FOUP 系列，运行安全），不适用于 PC ESD 载具（不耐高温碱）
工艺参数与使用说明
工作温度控制在 PEI 材质耐受上限内
需要样品或技术资料？
联系我们获取 SP-Clear HighTemp 的详细参数、MSDS 与样品支持