技术描述
玻璃表面改质剂（SA-100）是圣普化学面向TGV 玻璃基板场景开发的TGV/制程产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标芝普，提供国产化替代方案。核心卖点：TGV 种子层前玻璃改性，铜附着力倍增。
主要适用材质/对象：TGV 玻璃基板。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
SA-100 是用于 TGV / 玻璃基板种子层溅射（PVD）之前的玻璃表面改质剂。玻璃表面为惰性硅氧结构，直接溅射 Ti / Cu 种子层附着力不足，会在后续电镀、退火与可靠性试验中出现铜层脱层、剥离。 产品采用表面键合型体系：水解后与玻璃表面羟基化学键合，分子另一端与 Ti / Cu 界面配位桥接，形成「玻璃—偶联层—金属」牢固键合，从界面化学层面解决附着力问题，而非物理粗化。
核心价值：把「铜附着力」从工艺运气变成可量测的界面工程——接触角 < 20°、百格 5B、85 ℃/85% RH 240 h 无脱层。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | 无碱玻璃 / 硼硅玻璃基板（TGV、玻璃芯载板） |
| 应用位置 | 种子层溅射（Ti / Cu PVD）之前的表面处理 |
| 高深径比适配 | TGV 通孔内壁改性（孔内渗透、无气泡） |
| 产品定位 | 玻璃表面改质剂（键合体系，种子层前处理） |
玻璃与金属天然缺乏化学键合，附着力不足会在电镀与可靠性考核阶段集中暴露为脱层。SA-100 在玻璃与金属之间引入一层共价键合的偶联层，把附着力从「机械锚定」升级为「界面化学键合」；并针对高深径比结构以润湿设计保证孔内壁与平面一样被均匀改性，避免「平面达标、孔内失效」。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 水解 – 缩合键合玻璃端 | 键合组分水解生成活性硅醇，与玻璃表面的 Si-OH 缩合形成共价键，将偶联层固定在玻璃表面 |
| ② 界面配位桥接金属端 | 分子的另一端官能团与 Ti / Cu 界面相互作用（配位 / 氢键），形成「玻璃—偶联层—金属」桥接，显著提升铜膜附着力 |
| ③ 弱酸水解液 + 辅助组分稳定 | 弱酸环境（pH 4.5 – 5.5）配合辅助组分抑制硅醇自缩聚，防止水解液凝胶化失效，保证工作液在可用时间内状态稳定 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 体系类型 | 表面键合型体系（弱酸水解液） | 工作液 pH 4.5 – 5.5 |
| 键合组分有效浓度 | 1% | 吸附量适中；过量反而弱化界面 |
| 改性后接触角 | < 20°（改性前 40 – 60°） | 润湿性显著改善 |
| 附着力 | Cu 溅射膜百格法 5B（0 脱落） | 目标值 |
| 耐湿可靠性 | 85 ℃ / 85% RH 240 h 后无脱层，百格 ≥ 4B | 目标值 |
| 孔内覆盖 / 表面状态 | 孔内壁改性均匀（SEM 截面无局部未改性区）；无白雾、无残留膜 | 高深径比关键指标 |
| 工作液寿命 | 24 h 内使用 | 硅醇体系固有特性 |
| 供货形态 | 单组份工作液（现配现用）或双组份（现场配制） | 按客户产线条件选择 |
使用说明
- 1玻璃基板预清洗 + 活化处理（使表面 Si-OH 充分暴露）
- 2SA-100 工作液：喷涂 / 旋涂 / 浸渍（均匀覆盖，孔内无气泡）
- 3室温静置 5 min，或 80 – 120 ℃ 烘 10 – 30 min（固化硅氧网络）
- 4去离子水轻冲洗（去除游离键合组分，防过量残留）
- 5氮气吹干 → PVD 溅射 Ti / Cu 种子层
- ·控制 pH 与温度是第一位：工作液 pH 须保持在 4.5 – 5.5，配制与使用温度不宜超过 40 ℃——pH 偏碱或高温会触发自缩聚、整槽凝胶失效
- ·工作液 24 h 内用完：这是键合组分水解体系的固有寿命，建议优先选择双组份供货、现场少量配制
- ·容器必须洁净、使用 18 MΩ·cm 级纯水，避免金属离子污染催化缩聚
- ·改性后以去离子水轻冲洗即可，冲洗过度会带走未完全固化的偶联层
高深径比 TGV 须关注孔内气泡排除（浸渍时轻微超声或真空辅助），气泡残留会造成孔内局部未改性；首次使用建议先小批量试产。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| 使用期限 / 禁忌 | 工作液 24 h 内使用，出现发浑、凝胶即不可用；弱酸体系，禁止与强碱、强氧化性物质混存，避免高温与阳光直射 |
| 挥发组分 | 含挥发性辅助组分，操作区保持通风、远离明火 |
| 个人防护 | 佩戴防护手套与护目镜，避免长时间接触皮肤与眼睛 |
| 不慎接触 | 立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医 |
| 废液处理 | 按当地环保法规处置，禁止直排 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 供货形态 | 单组份工作液（现配现用）或双组份（A 浓缩组分 + B 稀释组分，客户现场配制） |
| 储存条件 | 室温、密封、避光 |
产品优势
可量测的附着力承诺
接触角 < 20°、百格 5B、85 ℃/85% RH 240 h 无脱层，把「附着力好」变成客户可验收的数据；
孔内均匀改性 + 工序衔接
以润湿与渗透设计覆盖高深径比内壁，避免平面达标、孔内失效；无缝插入「活化清洗 → 改质 → 固化 → PVD 溅射」流程；
双组份供货 + 蓝海品类
以双组份规避键合体系工作液寿命短的固有短板，客户现场少量现配；玻璃表面改质剂进口依赖度高、可替代供应商少，本地化供应价值突出；
对标进口同类产品（如芝普表面改质 / 增黏系列），供应稳定性与技术支持响应更有保障
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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