
技术描述
玻璃表面改质剂(SA-100)是圣普化学面向TGV 玻璃基板场景开发的TGV/制程产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标芝普,提供国产化替代方案。核心卖点:TGV 种子层前玻璃改性,铜附着力倍增。
主要适用材质/对象:TGV 玻璃基板。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
玻璃表面改质剂(SA-100)是圣普化学面向TGV 玻璃基板开发的TGV/制程产品。产品核心优势:TGV 种子层前玻璃改性,铜附着力倍增。技术上对标芝普,提供国产化替代选择。产品特点:表面键合型偶联剂体系——水解后与玻璃表面羟基化学键合,另一端与 Ti/Cu 界面配位桥接,形成「玻璃—偶联层—金属」牢固键合,防止凝胶化,改性后水滴接触角 <20°,Cu 溅射膜百格测试 5B,85°C/85%RH 240h 无脱层。典型工艺:玻璃预清洗活化后喷涂/旋涂/浸渍(孔内无气泡),室温静置 5min 或 80-120°C 烘 10-30min 固化,DI 水轻冲洗 + 氮气吹干后 PVD 溅射,客户现场配制)。
产品参数速览
对标竞品
芝普
适用场景
TGV 玻璃基板
适用材质
TGV 玻璃基板
产品特点
表面键合型偶联剂体系——水解后与玻璃表面羟基化学键合,另一端与 Ti/Cu 界面配位桥接,形成「玻璃—偶联层—金属」牢固键合,防止凝胶化,改性后水滴接触角 <20°,Cu 溅射膜百格测试 5B,85°C/85%RH 240h 无脱层
工艺参数与使用说明
玻璃预清洗活化后喷涂/旋涂/浸渍(孔内无气泡),室温静置 5min 或 80-120°C 烘 10-30min 固化,DI 水轻冲洗 + 氮气吹干后 PVD 溅射,客户现场配制)
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