技术描述
钌蚀刻液（ET-Ru）是圣普化学面向先进封装/晶圆场景开发的蚀刻/显影产品——用于精密图形化加工的蚀刻/显影化学品。技术性能对标关东化学（Ru 系蚀刻，研发方向对标），提供国产化替代方案。核心卖点：Ru 互连下一代金属蚀刻。
主要适用材质/对象：先进封装/晶圆。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
ET-Ru 是面向钌（Ru）互连金属的蚀刻产品，采用选择性氧化体系 + 碱性介质（pH 9 – 10）设计。钌是 2 nm 节点之后的候选互连金属（低电阻率、抗电迁移），先进封装 RDL 的远期方向；目前行业内尚无成熟量产的钌蚀刻液，关东化学等厂商仅有研发级产品。 产品定位是技术卡位与客户研发协同：本品处于研发验证阶段，蚀刻速率以实测标定为准、暂不承诺量产指标；碱性介质设计可显著抑制蚀刻过程剧毒挥发产物的逸出，配合尾气吸收形成双重防护。
核心价值：为客户的钌互连研发项目提供可稳定供样、可追溯数据的蚀刻解决方案，把「有没有」的问题变成「一起标定」的问题。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | SiO₂ 基材上的 Ru 膜（10 – 50 nm，实验片） |
| 应用场景 | 钌互连研发验证、钌膜减薄与剥离工艺 |
| 产品定位 | 研发级钌蚀刻液（技术卡位产品） |
| 配套服务 | 蚀刻速率 / 选择性数据交付、按客户工艺窗口共同标定 |
| 环节 | 说明 |
|---|---|
| 研发验证 | 客户 Ru 互连研发项目的小片蚀刻验证 |
| 减薄 / 剥离 | Ru 膜厚减薄、非图形区 Ru 去除 |
钌蚀刻的行业难点有两个：钌化学惰性强，需特定强氧化作用才能转化为可溶态；蚀刻过程会产生剧毒挥发性产物，常规酸性/中性条件反而增加挥发风险。ET-Ru 选择碱性介质路线——碱性条件既稳定钌的溶解中间态，又从体系上抑制剧毒产物逸出，再叠加尾气吸收装置。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 选择性氧化溶钌 | 以选择性氧化作用把金属钌转化为可溶态，仅作用于钌膜、对 SiO₂ / SiN 几乎不蚀 |
| ② 碱性介质双重作用 | 碱性条件稳定钌的溶解中间态、防止其自发分解；同时从体系上显著抑制剧毒挥发产物的逸出（工作液 pH 9 – 10） |
| ③ 离子控制锁定中间态 | 离子控制组分锁定钌的中间价态，防止中间产物在片面上再沉积、造成针孔与残留 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 体系类型 | 选择性氧化 + 碱性介质体系 | 工作液 pH 9 – 10 |
| 工作温度 | 40 ℃ | 通风橱内操作 |
| 处理时间 | 1 – 10 min（Ru 膜 10 – 50 nm） | 依膜厚与实测速率调整 |
| 蚀刻速率 | 设计目标 5 – 20 nm/min @ 40 ℃ | 研发验证阶段，以实测标定为准，暂不承诺量产指标 |
选择性 SiO₂ / SiN 100:1（设计目标）；对铜轻微（实验确认）
使用说明
40 ℃ 浸泡（实验皿，须在通风橱内操作），Ru 膜 10 – 50 nm 蚀刻 1 – 10 min （蚀刻速率以膜厚仪在线标定） → 去离子水冲洗 ×3 → 记录蚀刻速率 / 选择性数据 → SEM / 膜厚表征
- ·全程必须在通风橱内操作（配液与蚀刻同样要求），并保持尾气吸收装置有效运行
- ·蚀刻速率与温度、浓度强相关，请按我方提供的数据交付表在同一条件下比对，不要跨条件直接套用
- ·不同沉积状态（沉积态 / 退火态）的钌膜蚀刻速率差异明显，验证前请确认膜层状态并在记录中注明
- ·废液含钌化合物，须按危险废物单独收集，不得直排
- ·产品避光储存，取用后及时密封
本品为研发验证级产品，大规模量产指标需在标定完成后另行确认。
注意事项与安全
| — | | 均匀性 | ±10%（实验级） | — | | 供应形态 | 原液（工作液）直接使用，避光保存 | — | | 类别 | 说明 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 剧毒挥发物 | 蚀刻过程可能产生剧毒挥发性产物，必须在通风橱内操作 + 尾气碱液吸收（双重防护，不得省略任何一层） | 体系安全设计 | 碱性介质（pH 9 – 10）可显著抑制剧毒产物逸出，但仍须保留尾气吸收装置 | 氧化性组分 | 含强氧化性组分，禁止与还原性物质、有机物混存；避光、干燥保存 | 废液处置 | 含钌废液按危险废物收集处置，禁止直排 | 个人防护 |
佩戴防护手套、护目镜与面罩，操作区强制通风 不慎接触 立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 储存条件 | 室温、密封、避光 |
| 容器要求 | 碱性体系，建议使用 PP / PET 类容器，避光密封保存 |
| 使用期限 | 开盖后按验证批次使用；避光保存，远离还原性物质 |
产品优势
技术卡位
行业尚无成熟量产钌蚀刻液，本品可作为客户研发阶段的稳定供样方案，建立先发心智；
安全设计到位
碱性介质抑制剧毒挥发产物 + 尾气碱液吸收双重防护，把研发验证的安全边界写清楚；
数据可交付
提供蚀刻速率 – 温度 – 浓度三维标定表与 SEM 形貌记录，配合客户研发做工艺窗口确认；
选择性明确 + 对标进口
对 SiO₂ / SiN 选择性 100:1（设计目标），不伤底层绝缘膜；对标关东化学钌系蚀刻方向，供样与联合开发响应更快
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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