技术描述
晶澈 PFA 专用 · 强碱清洗液（SP-Clear PFA）是圣普化学面向PFA 湿制程载具/晶圆盒场景开发的载具/晶圆产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标依托 Entegris ACM 系列（PFA 强碱清洗），提供国产化替代方案。核心卖点：PFA Cassette 强碱清洗，对氟塑料材质耐受性出众。
适用材质为PFA 湿制程载具，典型应用覆盖PFA 湿制程载具/晶圆盒。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
晶澈 PFA 专用 · 强碱清洗液（SP-Clear PFA）是圣普化学面向PFA 湿制程载具/晶圆盒开发的载具/晶圆产品。产品核心优势：PFA Cassette 强碱清洗，对氟塑料材质耐受性出众。技术上对标依托 Entegris ACM 系列（PFA 强碱清洗），提供国产化替代选择。产品特点：PFA/PTFE/PVDF 全耐化学且耐温 160°C，70-100°C 下喷淋/浸泡/超声波三种方式均可用，不适用于 PC/铝/铜材质。适用材质：PFA 湿制程载具。典型工艺：热碱体系。
产品参数速览
对标竞品
依托 Entegris ACM 系列（PFA 强碱清洗）
适用场景
PFA 湿制程载具/晶圆盒
适用材质
PFA 湿制程载具
产品特点
PFA/PTFE/PVDF 全耐化学且耐温 160°C，70-100°C 下喷淋/浸泡/超声波三种方式均可用，不适用于 PC/铝/铜材质
工艺参数与使用说明
热碱体系
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