技术描述
TGV 弱碱喷淋清洗剂（TGV-CS1）是圣普化学面向TGV 玻璃基板场景开发的TGV/制程产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线），提供国产化替代方案。核心卖点：蚀刻后表面/CMP 后清洗，兼容含氟蚀刻残留。
主要适用材质/对象：TGV 玻璃基板。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
TGV 弱碱喷淋清洗剂（TGV-CS1）是圣普化学面向TGV 玻璃基板开发的TGV/制程产品。产品核心优势：蚀刻后表面/CMP 后清洗，兼容含氟蚀刻残留。技术上对标帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线），提供国产化替代选择。产品特点：弱碱短时接触不使玻璃表面起雾（haze）。典型工艺：45-55°C 喷淋（1-2 bar）3-5min，DI 水冲洗 2-3 次。
产品参数速览
对标竞品
帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线）
适用场景
TGV 玻璃基板
适用材质
TGV 玻璃基板
产品特点
弱碱短时接触不使玻璃表面起雾（haze）
工艺参数与使用说明
45-55°C 喷淋（1-2 bar）3-5min，DI 水冲洗 2-3 次
需要样品或技术资料？
联系我们获取 TGV-CS1 的详细参数、MSDS 与样品支持