技术描述
TGV 弱碱喷淋清洗剂（TGV-CS1）是圣普化学面向TGV 玻璃基板场景开发的TGV/制程产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线），提供国产化替代方案。核心卖点：蚀刻后表面/CMP 后清洗，兼容含氟蚀刻残留。
主要适用材质/对象：TGV 玻璃基板。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
TGV-CS1 是面向 TGV 玻璃基板的弱碱喷淋型清洗剂，用于蚀刻后（成孔后）表面与孔口清洗、CMP 后清洗，适配大批量喷淋产线。 产品为 5X 浓缩液，客户按 1 : 4 用去离子水稀释使用（工作液 pH 8.5 – 9.5），与进口 TGV 清洗剂的使用习惯一致。体系兼容含氟系与碱性蚀刻残留：客户无论走含氟蚀刻还是热碱蚀刻路线，蚀刻盐都能被有效结合带走。
核心价值：弱碱短时接触——既能把蚀刻残留与玻璃碎屑清干净，又不会让玻璃表面起雾（haze）、不伤种子层金属。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | TGV 玻璃基板、玻璃芯载板 |
| 工艺位置 | 蚀刻后表面 / 孔口清洗、CMP 后清洗、电镀前清洗 |
| 残留兼容 | 兼容含氟系 / 碱性蚀刻残留（蚀刻盐、玻璃碎屑等） |
TGV 成孔后孔内残留（碎屑、蚀刻盐、改性残层）是行业验收的直接判定项——孔内异物、残留直接影响电镀填充质量与可靠性。清洗难点在于：强碱去污力强但长时间接触会让玻璃起雾并损伤种子层，弱清洗又洗不掉蚀刻盐。TGV-CS1 以弱碱 + 离子控制 + 低泡表面活性体系的组合，在短时接触内完成清洗。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 离子控制结合蚀刻盐 | 离子控制组分结合蚀刻盐与金属离子，兼容氟系 / 碱性蚀刻残留，从表面带走离子态污染 |
| ② 耐碱低泡表面活性体系渗透剥离 | 耐碱低泡表面活性体系（浊点 98 – 103 ℃）在高温喷淋下保持活性，渗透剥离玻璃碎屑与有机残留；分散作用组分防止碎屑再沉积 |
| ③ 弱碱短时接触保护表面 | 工作液 pH 8.5 – 9.5 的弱碱区间，短时接触不使玻璃表面起雾（haze）、不伤金属层 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 浓缩倍数 | 5X 浓缩液 | — |
| 稀释比例 | 1 : 4（浓缩液 : 去离子水） | 1 份浓缩液 + 4 份去离子水 |
| 工作液 pH | 8.5 – 9.5 | 弱碱体系 |
| 工作温度 | 45 – 55 ℃ | 喷淋工艺 |
| 处理时间 | 3 – 5 min | 喷压 1 – 2 bar |
| 表面活性体系浊点 | 98 – 103 ℃ | 高温喷淋下不析出、保持清洗力 |
| 玻璃表面保护 | 60 min 浸泡无失重、无 haze（±0.01 mg/cm²） | 称重法 + 目视 |
| 颗粒去除 | 表面颗粒数下降 ≥ 99% | 显微镜计数 |
| 离子残留 | K⁺ / Na⁺ / Cl⁻ < 10 ppb（目标值） | 离子色谱 |
| 金属离子洗脱 | Cu²⁺ / Fe³⁺ 洗脱率 ≥ 95% | ICP / 结合滴定 |
| 泡沫高度 | 喷淋 3 min 泡沫高度 < 10 mm | 喷淋机实测 |
| 稳定性 | 浓缩液 40 ℃ 放置 7 天不分层、不变色 | 恒温箱 |
使用说明
- 1浓缩液 1 : 4 稀释（1 份浓缩液 + 4 份去离子水，去离子水建议 18 MΩ·cm 级）
- 245 – 55 ℃ 喷淋（喷压 1 – 2 bar）3 – 5 min
- 3去离子水冲洗 ×2 – 3
- 4甩干 / 热风干燥
- ·稀释必须使用去离子水，避免自来水中钙镁离子与杂质影响清洗效果与离子残留水平
- ·稀释后的工作液建议当班使用并定期监测 pH，偏离 8.5 – 9.5 区间时及时补加或换槽
- ·喷淋压力建议控制在 1 – 2 bar：压力过低孔口残留除不净，过高易造成孔壁二次损伤
- ·本品为弱碱体系，不要与强碱性清洗方式混用或延长接触时间——长时间强碱接触会使玻璃表面起雾
工艺对标行业验收关注项（孔内无碎屑 / 无残留、清洗后电镀填充无气泡空洞），建议送样时同步提供 SEM 孔内观察与离子残留数据；首次使用建议先小批量试产。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| 成分安全 | 本品不含任何含氟蚀刻成分，不使用剧毒含氟酸，属弱碱水性体系 |
| 材质 / 工序禁忌 | 避免与强碱性清洗方式叠加长时间接触（玻璃表面会起雾、伤金属层） |
| 个人防护 | 佩戴防护手套与护目镜，避免长时间接触皮肤与眼睛 |
| 不慎接触 | 立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医 |
| 废液处理 | 按当地环保法规处置，禁止直排 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 供货形态 | 5X 浓缩液 |
| 储存条件 | 室温、密封、避光 |
| 容器要求 | 建议使用 PP / PE 类容器 |
| 使用期限 | 浓缩液按标示有效期使用；稀释后工作液建议当班使用 |
产品优势
残留兼容性广
兼容含氟系与碱性两类蚀刻残留，客户无论走哪条成孔路线都能直接适配；
弱碱不伤表面
工作液 pH 8.5 – 9.5 短时接触，不使玻璃起雾（haze）、不伤种子层与金属层；
喷淋工况友好 + 清洗力可验收
耐碱低泡表面活性体系浊点 98 – 103 ℃，45 – 55 ℃ 连续喷淋下不起泡；颗粒去除 ≥ 99%、金属离子洗脱率 ≥ 95%、离子残留 < 10 ppb（目标值）；
低钠 + 浓缩交付
弱碱源低钠，避免钠离子残留污染后段种子层与器件；5X 浓缩液 1 : 4 稀释使用，物流与仓储更经济
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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