技术描述
TGV 中性超声清洗剂（TGV-CU1）是圣普化学面向TGV 玻璃基板场景开发的TGV/制程产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标帕卡 PK-LCG255（中性路线），提供国产化替代方案。核心卖点：高深径比通孔内清洗，表面张力 <30mN/m 直灌孔底。
主要适用材质/对象：TGV 玻璃基板。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
TGV-CU1 是面向 TGV 玻璃基板的中性超声清洗剂，专攻高深径比通孔的孔内清洗，适用于蚀刻后/电镀前通用工位。 TGV 清洗最大的物理障碍是表面张力：孔径 10 μm、深径比 50:1 的微孔，普通清洗液进不到孔底，残留自然清不掉。TGV-CU1 的表面张力设计目标为 < 30 mN/m，使工作液深入孔底完成置换——该路线已由学术文献验证（清洗液表面张力直接决定 TGV 孔内清洁度）。 产品同样为 5X 浓缩液，1 : 4 稀释后工作液呈中性（pH 6.8 – 7.5），对玻璃与金属层都温和。
核心价值：用低表面张力解决「药液进不去孔底」的根因问题，中性体系保证孔内清洗的同时不伤玻璃、不伤种子层。
对标 帕卡 PK-LCG255（中性路线）同类产品。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | TGV 玻璃基板、玻璃芯载板 |
| 孔型适配 | 10 μm 级孔径、深径比 50:1 的高深径比通孔 |
| 工艺位置 | 蚀刻后 / 电镀前通用清洗，孔内洁净度保障工位 |
| 设备适配 | 超声清洗线（40 / 60 kHz） |
高深径比孔内清洗的难点是「进不去、出不来」：药液进不到孔底，剥离的碎屑又不易带出。TGV-CU1 从两个方向解决：以 < 30 mN/m 的低表面张力让药液主动灌入孔底；以超声（40 / 60 kHz）提供机械剥离能量，配合分散作用组分把碎屑稳定悬浮带走，避免二次沉积。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 低表面张力直灌孔底 | 工作液表面张力 < 30 mN/m，可渗透 10 μm 级、深径比 50:1 的微孔至孔底，是孔内清洗的前提条件 |
| ② 超声 + 分散作用组分防再沉积 | 超声提供剥离能量，离子控制组分结合蚀刻盐与金属离子，分散作用组分把已剥离碎屑稳定悬浮、防止再沉积回孔壁 |
| ③ 中性体系 + 金属保护 | 工作液 pH 6.8 – 7.5 中性，对玻璃与金属层温和；保护组分对种子层金属提供保护，避免清洗过程损伤 Cu / Ti 层 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 浓缩倍数 | 5X 浓缩液 | — |
| 稀释比例 | 1 : 4（浓缩液 : 去离子水） | 1 份浓缩液 + 4 份去离子水 |
| 工作液 pH | 6.8 – 7.5 | 中性体系 |
| 表面张力 | < 30 mN/m | 高深径比孔底渗透的关键指标 |
| 工作温度 | 40 – 60 ℃ | 超声清洗 |
| 处理时间 | 5 – 10 min | 超声 40/60 kHz |
| 颗粒去除 | 表面颗粒数下降 ≥ 99% | 显微镜计数 |
| 离子残留 | K⁺ / Na⁺ / Cl⁻ < 10 ppb（目标值） | 离子色谱 |
| 金属离子洗脱 | Cu²⁺ / Fe³⁺ 洗脱率 ≥ 95% | ICP / 结合滴定 |
使用说明
- 1浓缩液 1 : 4 稀释（1 份浓缩液 + 4 份去离子水，去离子水建议 18 MΩ·cm 级）
- 240 – 60 ℃ 超声清洗 5 – 10 min（超声频率 40 / 60 kHz）
- 3去离子水溢流冲洗 ×3（必要时兆声辅助 + 去离子水冲洗）
- 4甩干 / 氮气吹干
- ·稀释必须使用去离子水；稀释后建议实测表面张力，确认仍在 < 30 mN/m 区间
- ·超声频率选择：40 kHz 适合多数通孔清洗工况，60 kHz 适合对孔壁损伤更敏感的精细结构，建议按客户孔型实测选择
- ·温度建议 40 – 60 ℃，升温有助于降低表面张力与黏度、提升孔内置换效率
- ·装片方式应保证孔轴方向与超声波传播方向配合，避免形成声影区导致孔内清洗不足
本品为中性体系，可与喷淋型清洗剂（弱碱路线）在不同工位组合使用，覆盖「孔内 + 表面」两种清洗需求；首次使用建议先小批量试产。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| 成分安全 | 本品不含任何含氟蚀刻成分，不使用剧毒含氟酸，属中性水性体系 |
| 材质安全 | 中性体系，对玻璃基板及 Cu / Ti 金属层温和；其他材质建议先做兼容性验证 |
| 个人防护 | 佩戴防护手套与护目镜，避免长时间接触皮肤与眼睛 |
| 不慎接触 | 立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医 |
| 废液处理 | 按当地环保法规处置，禁止直排 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 供货形态 | 5X 浓缩液 |
| 储存条件 | 室温、密封、避光 |
| 容器要求 | 建议使用 PP / PE 类容器 |
| 使用期限 | 浓缩液按标示有效期使用；稀释后工作液建议当班使用 |
产品优势
直击孔内清洗根因
表面张力 < 30 mN/m，可渗透 10 μm 级、深径比 50:1 的微孔至孔底，该设计路线已由学术文献验证；
中性温和
工作液 pH 6.8 – 7.5，对玻璃无腐蚀无 haze、对 Cu / Ti 种子层提供保护；40 / 60 kHz 两种超声频率、40 – 60 ℃ 宽温区可用；
清洗力可验收
颗粒去除 ≥ 99%、金属离子洗脱率 ≥ 95%、离子残留 < 10 ppb（目标值）；5X 浓缩液 1 : 4 稀释，物流与仓储更经济；
组合覆盖
与弱碱喷淋型清洗剂形成「孔内超声 + 表面喷淋」互补方案，可整线配套供应
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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