划片后硅片表面对比照


- 对照组(未用划片液):表面粉尘堆积、划道不清,残留可能影响后道(黏合/分层风险)。
- 使用 SEM-1000:划道清晰、表面洁净无尘,显微无颗粒,清洗分散性佳。

SEM-2000 是圣普化学在 SEM-1000 基础上推出的新一代高倍稀释半导体晶圆划片液,功能与 SEM-1000 完全一致——集清洗、润滑、防腐蚀、冷却于一体。其突出优势是支持高倍稀释使用(推荐 1:2000),在保持同等清洗与保护性能的前提下进一步降低单位使用成本,适合用水量大的量产划片场景。
高效表面活性剂快速润湿并分散微米级碎屑,防止二次附着划伤;润湿铺展在刀片/晶圆界面成润滑膜,降低摩擦与崩边、微裂;专用复合缓蚀体系对金属布线与焊盘形成电化学钝化保护;稀释后工作液电导稳定 <150µS/cm,兼顾高洁净与低腐蚀风险。
该产品可按产线工艺定制浓度与包装,支持稳定国产化供应。
划片是封装的关键工序。随着线宽变小、晶圆更薄,高速刀片切割带来的颗粒、热量与应力成为三大工艺挑战。
切割产生的微米级硅粉易粘附晶圆表面,残留会导致失效或可靠性下降。
刀片高速旋转产生局部高温与机械应力,可能引发微裂纹、分层等不可逆损伤。
晶圆表面金属布线在加工水中易发生电化学腐蚀,断线并显著降低良率。
划片液由此承担核心角色:高效冷却 · 润滑 · 清洗与防腐蚀四效一体,是精度制程的品质保证。
SEM-2000 面向晶圆高精度划片,以先进表面活性剂与功能助剂提供“清洗+润滑+防锈防腐蚀”一站式方案,为精密制造带来良率与品质承诺。
强清洗与润滑降低微裂纹与残留颗粒风险
长效防腐,恶劣工况防电化学腐蚀、表现稳定
配方科学、使用效率高,摊薄综合成本
稀释即可,快捷导入现有产线、兼容性好
高效表面活性剂降低表面张力,快速渗入切割区并包裹硅粉,防止其在切割路径上再沉积。
在刀片/晶圆界面快速成保护膜,减小摩擦,显著降低晶圆边缘损伤与微裂纹。
内置复合缓蚀剂优先吸附金属表面,阻断水汽与氧接触,打断电化学腐蚀通路。
稀释后工作液电导稳定<150 µS/cm,最大化降低腐蚀风险,给精密芯片额外安全。
SEM-2000 已在多家半导体与先进封装划片产线经数年连续批产验证,完成从实验室到大批量工业产线的关键一跃。
大批量连续生产下性能始终如一,验证期内无因本品导致的品质波动或产线异常停机。
通过严格的供应商准入与批次检验,持续监控表现优异,成为划片液核心稳定供应商。
不仅通过实验室标准,更在复杂真实的工业批产环境中验证了工艺兼容与实用价值。
| 外观 | 清澈至微浑浊的液体(25 ℃) |
| 密度 | ≈1.0 g/cm³ (25 °C) |
| 电导率(1:200 去离子水稀释) | < 150 µS/cm |
| 推荐稀释比 | 1:2000(纯水/去离子水,高倍稀释) |
| 核心作用 | 润湿降张 · 防腐蚀 · 分散硅粉,综合提升划片良率与外观 |
| 标准包装 | 1 gal(≈3.78 L)桶 / 1000 kg IBC,支持定制 |
| 有效期 | 90 天(密封、阴凉干燥储存) |




新一代高倍稀释半导体晶圆划片液(SEM-2000)是圣普化学面向半导体晶圆与先进封装高精度划片/切割(含硬脆材料),亦用于划片后段漂洗开发的载具/晶圆产品。产品核心优势:清洗·润滑·防腐蚀·冷却 四效合一;独特配方支持高倍稀释(1:2000)使用,低成本高效,功能与 SEM-1000 一致。技术上对标对标新加坡 Keteca Diamaflow 388BL —— 支持高倍稀释(1:2000)的低碳高效体系,提供国产化替代,提供国产化替代选择。产品特点:界面活性剂强润湿降表面张力,吸附并悬浮分散微米级芯片碎屑,防二次附着划伤;在刀片-晶圆界面铺展成膜,显著降低摩擦与微裂/崩边;划片后残渣易被去离子水冲净,表面洁净光洁;复合缓蚀剂对金属布线与焊盘形成电化学钝化保护,浸泡不腐蚀;稀释后近中性、低离子,适配高洁净划片环境。适用材质:晶圆/芯片(硅及化合物半导体)、金属布线/焊盘。典型工艺:按去离子水高倍稀释使用,推荐 1:2000(可按工艺微调);划片机喷淋/漂洗,常温使用;稀释液电导 <150µS/cm;密封、阴凉、避光。
界面活性剂强润湿降表面张力,吸附并悬浮分散微米级芯片碎屑,防二次附着划伤;在刀片-晶圆界面铺展成膜,显著降低摩擦与微裂/崩边;划片后残渣易被去离子水冲净,表面洁净光洁;复合缓蚀剂对金属布线与焊盘形成电化学钝化保护,浸泡不腐蚀;稀释后近中性、低离子,适配高洁净划片环境
按去离子水高倍稀释使用,推荐 1:2000(可按工艺微调);划片机喷淋/漂洗,常温使用;稀释液电导 <150µS/cm;密封、阴凉、避光
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