
技术描述
彩色滤光片清洗液(CF-C1)是圣普化学面向彩膜玻璃基板场景开发的清洁/显影产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标日本化药 CF 制程清洗液,提供国产化替代方案。
主要适用材质/对象:彩膜玻璃基板。
服务于显示面板/模组制程的清洗、蚀刻与返修工序。
产品简介
CF-C1 是面向彩色滤光片(CF)制程中段的弱碱水基清洗液,用于色阻显影后残渣、ITO 溅射前清洗与检查返工清洗,喷淋与超声工艺均兼容。体系由公司玻璃清洗方案迁移而来:弱碱环境不水解丙烯酸系色阻与黑矩阵、不伤 ITO,配合离子控制组分与低泡表面活性体系,在洗净力与色阻安全之间取平衡;无磷、无 APEO,环保合规。产品以浓缩液交付,客户按 1 : 10 ~ 20 稀释使用。
核心价值:在色阻与 ITO 都不受伤的前提下,把 CF 制程中段的颗粒、残渣与指印类污染清干净。
对标 日本化药 CF 制程清洗液。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | 彩膜玻璃基板(已形成色阻 / 黑矩阵 / ITO 的 CF 基板) |
| 产品定位 | CF 制程中段清洗液(弱碱水基 · 浓缩液交付) |
| 工序位置 | 清洗对象与目的 |
|---|---|
| 色阻显影后清洗 | 显影残渣、边缘残膜——防止残渣在后续制程转化为缺陷 |
| ITO 溅射前清洗 | 颗粒、指印、油污——提升溅射膜层附着与均匀性 |
| 检查返工清洗 | 检查工序判定的可返工件表面清洁 |
| 喷淋 / 超声双工艺 | 40 ~ 45 ℃ 喷淋或超声,适配不同产线形态 |
CF 制程中段的清洗有两难:一难是色阻本身是碱可显影材料——清洗液的碱性一旦偏高,就会攻击已固化的色阻与黑矩阵,出现溶胀、脱色;二难是清洗后的残留会长期留在基板上——离子残留与接触角变化会直接影响 ITO 溅射质量与后续显示品质。CF-C1 用弱碱体系 + 离子控制 + 低泡设计的组合,把这两难同时约束住。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 弱碱温和清洗 | 工作液呈弱碱,可皂化、乳化油污与指印类有机污染,但不足以水解丙烯酸系色阻与黑矩阵 |
| ② 离子控制防再沉积 | 离子控制组分结合钙、镁及金属离子,防止其以水痕、盐膜形式再沉积到基板表面 |
| ③ 低泡渗透乳化 | 低泡表面活性体系配合辅助渗透组分,溶胀并乳化显影残渣与残胶,低泡特性兼容喷淋与超声 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 体系类型 | 弱碱水基清洗体系 | 浓缩液交付 |
| 稀释比例 | 1 : 10 ~ 20(浓缩液 : DI 水) | 按客户工艺选择 |
| 体系酸碱性 | 弱碱性(pH 9 ~ 10) | 不水解色阻 / 不伤 ITO |
| 工作温度 | 40 ~ 45 ℃ | 喷淋温度与溶剂组分闪点留有余量 |
| 清洗时间 | 喷淋 2 ~ 5 min;超声 3 ~ 10 min | 视污染程度调整 |
| 泡沫特性 | 低泡设计,罗氏泡沫高度(1% 液)< 100 mm | 喷淋线不溢泡 |
| 色阻兼容 | 成品 CF 样片浸泡 10 min:色阻无溶胀、无脱色 | 设计指标(膜厚仪 + 色度仪) |
| ITO 兼容 | ITO 玻璃 30 min 阻抗漂移 < 5% | 设计指标(四探针法) |
| 残留控制 | 离子残留 < 10 μg/cm²;接触角增量 < 10° | 设计指标 |
| 环保属性 | 无磷(总磷 < 0.1%)、无 APEO | 不含氨氮类组分 |
使用说明
浓缩液按 1 : 10 ~ 20 以 DI 水稀释 → 工作液 40 ~ 45 ℃ 喷淋 2 ~ 5 min(或超声 3 ~ 10 min) → 纯水喷淋漂洗 2 ~ 3 道 → 风刀吹干 → 检查:接触角、离子残留、色阻无溶胀
- ·建议使用 DI 水(去离子水) 稀释与漂洗,稀释比例按现场污染程度在 1 : 10 ~ 20 区间调整
- ·工作温度建议控制在 40 ~ 45 ℃,温度过高会削弱对色阻的安全余量
- ·清洗后必须充分漂洗——工作液离子残留按客户漂洗要求管控;若用于 ITO 溅射前工序,请按客户标准确认漂洗道数与离子残留上限
- ·低泡设计兼容喷淋与超声,槽液按现场周期更换
首次使用建议先小批量试产,确认与现场设备及后续工序的兼容性。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| 材质安全 | 弱碱体系,不水解丙烯酸系色阻 / 黑矩阵、不伤 ITO;其他制程材料建议先做兼容性验证 |
| 漂洗要求 | 使用后须充分漂洗;工作液离子残留按客户漂洗要求管控 |
| 稀释用水 | 建议使用 DI 水(去离子水),避免高硬度水质影响清洗效果 |
| 个人防护 | 建议佩戴防护手套与护目镜,避免长时间接触皮肤与眼睛 |
| 不慎入眼 | 立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医 |
| 废液处理 | 按当地环保法规处置 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 储存条件 | 密封存放于阴凉干燥处,避免阳光直射 |
| 容器要求 | PP / HDPE 类塑料容器 |
| 使用管理 | 开桶后保持密封;工作液按现场周期更换,定期确认 pH |
产品优势
色阻与 ITO 双安全
弱碱(pH 9 ~ 10)不水解丙烯酸系色阻 / 黑矩阵,ITO 30 min 阻抗漂移 < 5%;
环保合规
无磷(总磷 < 0.1%)、无 APEO,不引入氨氮类组分;
浓缩交付更轻便
1 : 10 ~ 20 稀释使用,运输与仓储量低于原液型产品;
低泡双工艺适配
低泡设计(罗氏泡沫高度 < 100 mm)兼容喷淋与超声,适配不同产线形态
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理,实际使用效果受现场工艺条件影响,具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理,仅用于说明产品定位,不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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