技术描述
玻璃减薄液（TG-100）是圣普化学面向面板玻璃 / 晶圆场景开发的蚀刻/剪薄产品——用于精密图形化加工的蚀刻/显影化学品。技术性能对标帕卡 Parker 氟系玻璃减薄液，提供国产化替代方案。核心卖点：玻璃减薄产线安全配套——减薄前预处理 / 减薄后清洗。
适用材质为面板玻璃/晶圆，典型应用覆盖面板玻璃 / 晶圆。
服务于显示面板/模组制程的清洗、蚀刻与返修工序。
产品简介
TG-100 是面向玻璃减薄产线的安全配套化学品，定位为「减薄前预处理 / 减薄后清洗」：减薄前预处理去除油污与脏污、提升后续蚀刻均匀性；减薄后清洗去除残留与结垢。产品走无氟强碱路线——规避剧毒气体风险，没有含氟物质的资质与危废负担，废液易中和处理，契合面板厂严苛的安全合规要求。需明确：本品不单独承担量产减薄功能——碱系对玻璃本体的蚀刻速率仅数十 nm/min 量级（公开实测数据约 20 ~ 25 nm/min），远低于含氟体系的 μm/min 量级，量产减薄选型须结合整体工艺方案。
核心价值：用无氟体系解决减薄产线前后的清洁与结垢问题，不为产线增加含氟合规负担。
对标 帕卡 Parker 氟系玻璃减薄液（本品走无氟路线，无剧毒气体风险与含氟资质负担）。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | 面板玻璃 / 晶圆玻璃（减薄产线） |
| 产品定位 | 玻璃减薄产线安全配套化学品（减薄前预处理 / 减薄后清洗） |
| 工序位置 | 清洗对象与目的 |
|---|---|
| 减薄前预处理 | 去油、去污，为后续减薄蚀刻提供均匀的起始表面 |
| 减薄后清洗 | 去除减薄（含氟体系）后的残留与结垢，防止表面发蒙 |
| 废液中和配套 | 废液易中和处理，降低含氟体系的废液处置负担 |
玻璃减薄是产线上风险最高的工序：行业主流使用含氟体系，剧毒气体与含氟危废的资质与现场管理负担很重。TG-100 不与含氟减薄液竞争「蚀刻速率」，而是解决这一工序前后两端的污染问题——把来料玻璃洗干净（提高减薄均匀性）、把减薄后的残留与结垢洗掉（防止发蒙），并且自身完全不含氟，不给产线增加合规负担。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 碱性介质去油去污 | 碱性水基体系皂化油污并剥离有机脏污，为减薄前提供洁净、均匀的起始表面 |
| ② 离子控制防结垢发蒙 | 离子控制组分结合钙、镁离子，抑制硅酸盐结垢在玻璃表面沉积——这是减薄后发蒙的关键来源 |
| ③ 润湿均匀抑蚀坑 | 润湿组分改善工作液与玻璃表面的接触均匀性，减少条纹与蚀坑类表面不良 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 体系类型 | 强碱水基体系（无氟路线） | 不含氟化物 |
| 工作液 pH | > 14（强碱） | pH 计 |
| 工作温度 | 60 ~ 70 ℃ | 操作须强碱 + 高温双重防护 |
| 定位与用法 | 减薄前预处理（去油去污）/ 减薄后清洗（去残留与结垢） | 按产线工序选配 |
| 玻璃表面质量 | 处理后可实现无发蒙、无白雾、无蚀坑，透光率损失 < 0.5% | 设计指标（目视 + 透光率仪） |
| 均匀性 | 面内厚度差（TTV）< ± 5% | 设计指标（测厚仪多点测量） |
| 防结垢 | 连续使用 8 h：槽壁与玻璃表面无结垢 | 设计指标（目视） |
| 玻璃强度 | 减薄后弯曲强度 ≥ 原值 70% | 设计指标（万能试验机） |
| 本体蚀刻速率参考 | 碱系对玻璃本体约 20 ~ 25 nm/min 量级 | 公开实测数据（用于选型说明） |
使用说明
减薄前预处理：玻璃来料（可选边缘遮蔽） → TG-100 工作液处理 → 纯水漂洗 → 干燥 → 进入减薄工序 减薄后清洗：减薄后玻璃 → TG-100 工作液处理 → 纯水漂洗 3 道 → 目检（发蒙 / 白雾 / 结垢） → 减薄后玻璃强度验证（落球 / 弯曲强度）
- ·配液铁律：碱入水——缓慢把碱加入水中并搅拌散热，严禁「水入碱」
- ·槽体、管路与夹具使用 PP / HDPE / PTFE 类耐碱材质；严禁铝、玻璃、陶瓷类容器
- ·工作温度 60 ~ 70 ℃，操作须按强碱 + 高温双重风险做好 PPE 防护
- ·本品不承担量产减薄功能，选型请结合整体减薄工艺方案（含氟减薄体系的前后段配套）
- ·减薄后清洗的漂洗必须充分，避免碱残留影响后续工序
建议不与其他含氟减薄液混槽使用。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| 🔴 高温强碱灼伤 | 强碱（pH > 14）且工作温度 60 ~ 70 ℃，会造成严重化学灼伤与烫伤；须穿戴防碱服、面罩与耐碱手套 |
| 误触处理 | 皮肤或眼睛接触立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医 |
| 设备材质 | 使用 PP / HDPE / PTFE 类耐碱材质；严禁铝、玻璃、陶瓷容器 |
| 配液方式 | 必须「碱入水」缓慢加入并搅拌散热 |
| 无氟声明 | 本品不含氟化物，无剧毒含氟气体与含氟危废的资质负担；建议不与其他含氟减薄液混槽 |
| 废液处理 | 碱性废液中和至 pH 6 ~ 9 后按当地环保法规处置，严禁直排 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 容器要求 | 强碱体系，必须使用 PP / HDPE 类容器，密封并防止吸收空气中二氧化碳 |
| 储存条件 | 室温、密封、阴凉处存放 |
| 使用管理 | 槽液按处理量与补液管理，定期检测有效碱浓度 |
产品优势
无氟安全路线
规避剧毒气体与含氟危废的资质与处置负担，废液易中和，契合面板厂 EHS 要求；
防结垢防发蒙
离子控制组分抑制硅酸盐结垢，处理后无发蒙、无白雾、无蚀坑，透光率损失 < 0.5%；
覆盖工序两端
减薄前预处理提高后续蚀刻均匀性（TTV < ± 5%），减薄后清洗去除残留与结垢；
定位诚实不误导
不承担量产减薄功能（碱系本体速率仅数十 nm/min 量级），避免选型错配；作为含氟减薄液的前后段配套使用（对标帕卡氟系减薄液）
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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