技术描述
LCD 彩膜显影液（CF-D1）是圣普化学面向彩膜玻璃基板场景开发的清洁/显影产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标日本化药 NK disperse（彩膜显影液——国内彩膜产线现全用进口，国产化率极低），提供国产化替代方案。核心卖点：彩色滤光片显影，对标日本化药。
主要适用材质/对象：彩膜玻璃基板。
服务于显示面板/模组制程的清洗、蚀刻与返修工序。
产品简介
CF-D1 是面向彩色滤光片（CF）制程的碱显影液，用于彩膜光阻的图形显影，显影有效浓度与面板行业事实标准规格（2.38% 级）对齐，客户可按需稀释至更低有效浓度用于精细 CD 显影场景。产品采用有机碱性显影体系而非无机碱——从源头避免碱金属离子损伤 TFT 特性；以电子级纯度管控金属离子，配合微量润湿与消泡设计，低泡特性适配喷淋显影且显影均匀。
核心价值：彩膜显影的国产化替代——浓度对齐行业标准，客户端无需改机即可切换。
对标 日本化药 NK disperse（彩膜显影液；国内彩膜产线现以进口品为主）。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | 彩膜玻璃基板（丙烯酸系负型 / 正型彩膜光阻） |
| 产品定位 | 彩膜光阻碱显影液（电子级 · 行业标准浓度） |
| 工序位置 | 作用与目的 |
|---|---|
| CF 光阻显影 | 曝光后喷淋显影，形成色阻图形，无显影残渣、无桥接 |
| 精细 CD 场景 | 稀释至更低有效浓度使用，用于线宽精度要求更高的场合 |
| 显影后漂洗 | 配套纯水溢流漂洗工艺，衔接风刀 / 氮气吹干 |
彩膜显影的质量由三件事决定：显影是否干净（残渣与桥接直接判废）、CD 是否稳定（显影速率对温度与浓度极敏感）、以及体系是否干净（碱金属离子迁移进器件会造成 TFT 特性漂移与漏电）。CF-D1 的做法是把浓度锁定在行业事实标准规格、把温度窗口收窄到 ±1 ℃，并以有机碱体系与电子级纯度管控从源头排除金属离子污染。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 碱显影作用 | 有机碱体系将曝光区光阻选择性溶解带走，未曝光区保留，形成色阻图形 |
| ② 润湿均布 | 微量润湿组分降低界面张力，保证大面积显影均匀，抑制显影残渣与桥接 |
| ③ 低泡适配喷淋 | 微量消泡设计使工作液在喷淋工况下不溢泡、不残留泡沫，保证显影一致性 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 体系类型 | 有机碱性显影体系 | 不含碱金属离子（MIF 思路） |
| 有效浓度 | 2.38%（面板行业事实标准规格） | 客户可按需稀释至 0.5 ~ 1.0% 用于精细 CD |
| pH 值 | ≈ 13 | 强碱显影工作液 |
| 金属离子 | Na / K / Fe / Cu 各 < 10 ppb | 电子级纯度管控（ICP-MS） |
| 泡沫特性 | 罗氏泡沫高度（23 ℃）< 30 mm | 喷淋显影安全 |
| 显影能力 | 显影 60 s 全显净、无残渣，CD 偏差 < ±5% | 设计指标（曝光测试片 + 显微镜） |
| ITO 兼容 | ITO 玻片浸 10 min 阻抗漂移 < 1% | 对 ITO / Cr 黑矩阵无攻击 |
| 颗粒度 | > 0.5 μm 颗粒 < 100 个/mL | 液体颗粒计数 |
| 显影温度 / 时间 | 23 ± 1 ℃；喷淋 50 ~ 90 s（压力 0.05 ~ 0.15 MPa） | 视图形精细度调整 |
使用说明
彩膜光阻涂布 → 预烘 → 曝光 → CF-D1 喷淋显影（23 ± 1 ℃，压力 0.05 ~ 0.15 MPa，50 ~ 90 s） → 纯水溢流漂洗 3 ~ 5 min → 风刀 / 氮气吹干 → 检查：显影残渣、线宽 CD
- ·建议 23 ± 1 ℃ 恒温使用——显影速率对温度敏感，温度漂移会直接反映为 CD 偏差
- ·客户可按需把标准浓度稀释至 0.5 ~ 1.0%，用于低速显影与精细 CD 场景
- ·工作液呈强碱，操作与设备防护按强碱化学品规范执行
- ·槽液与包装保持密封，避免长时间敞口吸收空气中二氧化碳导致 pH 下降
首次使用建议先小批量试产，按客户光阻与设备标定显影时间。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| ⚠ 显影组分危害 | 显影组分为强碱、具经皮渗透风险的高毒类别，MSDS 警示与 PPE 防护须到位 |
| 材质安全 | 对 ITO / Cr 黑矩阵无攻击；其他制程材料建议先做兼容性验证 |
| 个人防护 | 必须佩戴防护手套（耐碱）与护目镜，避免皮肤与眼睛接触 |
| 不慎接触 | 皮肤接触立即用大量清水冲洗；入眼立即用大量清水冲洗至少 15 分钟并就医 |
| 储存相容 | 密封避光存放；避免与酸性物质混存 |
| 废液处理 | 按当地环保法规处置，严禁直排 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 储存条件 | 密封、避光存放于阴凉处 |
| 容器要求 | PP / HDPE 类容器；避免使用金属器具与容器接触工作液 |
| 使用管理 | 开桶后保持密封，槽液按现场周期更换并定期检测有效浓度与 pH |
产品优势
浓度对齐行业标准
显影有效浓度 2.38% 级，与面板行业事实标准规格一致，客户无需重新调机；
有机碱体系
从源头避免碱金属离子损伤 TFT 特性，金属离子（Na / K / Fe / Cu）各 < 10 ppb；
低泡适配喷淋
罗氏泡沫高度 < 30 mm，喷淋显影不溢泡，显影均匀、无残渣与桥接（CD 偏差 < ±5%）；
空白品类替代
国内彩膜产线现以进口品为主，本产品提供同规格的国产化选择（对标日本化药 NK disperse）
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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