RDL 显影液
Semiconductor & PackagingEtching / Developing

RD-D1

RDL 显影液

RDL 制程显影,封装级标准显影体系

Technical Description

RDL 显影液(RD-D1)是圣普化学面向先进封装 RDL场景开发的蚀刻/显影产品——用于精密图形化加工的蚀刻/显影化学品。技术性能对标TOK/帕卡,提供国产化替代方案。核心卖点:RDL 制程显影,封装级标准显影体系。

主要适用材质/对象:先进封装 RDL。

服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。

Introduction

RDL 显影液 (RD-D1) is developed by SEMPURION for 先进封装 RDL as a 蚀刻/显影 product.Key advantage: RDL 制程显影,封装级标准显影体系. Benchmarked against TOK/帕卡 as a domestic alternative. Key features: 电子级纯度,无金属离子(MIF),Na⁺/K⁺/Fe³⁺ 各 <0.5ppm 管控(钠钾迁移进器件致漏电为红线项),非硅消泡剂适配喷淋显影. Typical process: 23±0.5°C 恒温使用,浸泡式 60-120s / 喷淋式 30-60s 低压喷淋,显影后立即 DI 水冲洗,原液及工作液按剧毒化学品管控(经皮吸收剧毒,须双人双锁台账管理,误触立即以清水冲洗 15 分钟并就医).

Quick Specs

Benchmark
TOK/帕卡
Application
先进封装 RDL
Materials
先进封装 RDL

Features

电子级纯度,无金属离子(MIF),Na⁺/K⁺/Fe³⁺ 各 <0.5ppm 管控(钠钾迁移进器件致漏电为红线项),非硅消泡剂适配喷淋显影

Process & Usage

23±0.5°C 恒温使用,浸泡式 60-120s / 喷淋式 30-60s 低压喷淋,显影后立即 DI 水冲洗,原液及工作液按剧毒化学品管控(经皮吸收剧毒,须双人双锁台账管理,误触立即以清水冲洗 15 分钟并就医)

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