Semiconductor & PackagingCarrier / Wafer
SP-Clear PFA
晶澈 PFA 专用 · 强碱清洗液
PFA Cassette 强碱清洗，对氟塑料材质耐受性出众
Technical Description
晶澈 PFA 专用 · 强碱清洗液（SP-Clear PFA）是圣普化学面向PFA 湿制程载具/晶圆盒场景开发的载具/晶圆产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标依托 Entegris ACM 系列（PFA 强碱清洗），提供国产化替代方案。核心卖点：PFA Cassette 强碱清洗，对氟塑料材质耐受性出众。
适用材质为PFA 湿制程载具，典型应用覆盖PFA 湿制程载具/晶圆盒。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
Introduction
晶澈 PFA 专用 · 强碱清洗液 (SP-Clear PFA) is developed by SEMPURION for PFA 湿制程载具/晶圆盒 as a 载具/晶圆 product.Key advantage: PFA Cassette 强碱清洗，对氟塑料材质耐受性出众. Benchmarked against 依托 Entegris ACM 系列（PFA 强碱清洗） as a domestic alternative. Key features: PFA/PTFE/PVDF 全耐化学且耐温 160°C，70-100°C 下喷淋/浸泡/超声波三种方式均可用，不适用于 PC/铝/铜材质. Typical process: 热碱体系.
Quick Specs
Benchmark
依托 Entegris ACM 系列（PFA 强碱清洗）
Application
PFA 湿制程载具/晶圆盒
Materials
PFA 湿制程载具
Features
PFA/PTFE/PVDF 全耐化学且耐温 160°C，70-100°C 下喷淋/浸泡/超声波三种方式均可用，不适用于 PC/铝/铜材质
Process & Usage
热碱体系
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