晶澈高温型 · FOUP 专用
Semiconductor & PackagingCarrier / Wafer

SP-Clear HighTemp

晶澈高温型 · FOUP 专用

高温 FOUP(PEI)专用,耐 120°C+ 制程

Technical Description

晶澈高温型 · FOUP 专用(SP-Clear HighTemp)是圣普化学面向PEI ESD 高温载具场景开发的载具/晶圆产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标依托 Entegris / ZESTRON 同类高温 FOUP 清洗剂,提供国产化替代方案。核心卖点:高温 FOUP(PEI)专用,耐 120°C+ 制程。

主要适用材质/对象:PEI ESD 高温载具。

服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。

Introduction

晶澈高温型 · FOUP 专用 (SP-Clear HighTemp) is developed by SEMPURION for PEI ESD 高温载具 as a 载具/晶圆 product.Key advantage: 高温 FOUP(PEI)专用,耐 120°C+ 制程. Benchmarked against 依托 Entegris / ZESTRON 同类高温 FOUP 清洗剂 as a domestic alternative. Key features: 比标准版高一档),配合 70-90°C 高温运行实现高去污力,按 PEI ESD 材质耐受性设计(对应耐温 150°C 内的 PEI 高温 FOUP 系列,运行安全),不适用于 PC ESD 载具(不耐高温碱). Typical process: 工作温度控制在 PEI 材质耐受上限内.

Quick Specs

Benchmark
依托 Entegris / ZESTRON 同类高温 FOUP 清洗剂
Application
PEI ESD 高温载具
Materials
PEI ESD 高温载具

Features

比标准版高一档),配合 70-90°C 高温运行实现高去污力,按 PEI ESD 材质耐受性设计(对应耐温 150°C 内的 PEI 高温 FOUP 系列,运行安全),不适用于 PC ESD 载具(不耐高温碱)

Process & Usage

工作温度控制在 PEI 材质耐受上限内

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